江苏淮安天车厂家分享介绍无尘车间天车的密封与防尘设计

点击次数:120   更新时间2025-06-24     【关闭分    享:

 
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江苏淮安天车厂家分享介绍无尘车间天车的密封与防尘设计
      江苏淮安天车厂家分享介绍无尘车间天车的密封与防尘设计
无尘车间天车的密封与防尘设计是确保其在高洁净环境中稳定运行的核心技术,需从结构密封、运动部件防护、气流控制等多维度切断污染路径。以下从技术原理、设计细节及行业应用标准展开详细说明:
一、核心密封系统设计
1. 驱动系统全封闭设计
电机与减速机密封
采用双层机械密封 + 气密外壳结构,外壳材质为 304 不锈钢(厚度≥3mm),接缝处焊接后进行氦质谱检漏(泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s)。例如,某半导体用无尘天车的行走电机配备氟橡胶密封圈,配合氮气填充(压力 0.05MPa),防止润滑油蒸汽外泄。
减速机齿轮箱采用油浴润滑 + 呼吸阀过滤,呼吸阀内置 0.22μm 疏水性 PTFE 滤芯,避免外部空气粉尘进入,同时阻止箱内油气挥发。
电缆与管线密封
控制电缆通过密封格兰头(IP68 防护等级)穿入电气柜,格兰头内部填充硅橡胶密封剂,确保线缆穿孔处无粉尘渗透;液压 / 气动管线接口采用金属波纹软管 + 焊接式接头,替代螺纹连接(减少缝隙积尘)。
2. 运动部件密封防护
钢丝绳系统密封
卷筒外侧设置可拆卸式防尘罩,罩体采用透明亚克力板(便于观察),内部贴附粘尘膜(更换周期 7 天),实时吸附钢丝绳运行中摩擦产生的金属微粒。
钢丝绳选用不锈钢涂层碳钢绳(外层 316L 不锈钢包裹),减少锈蚀碎屑产生,同时通过密封导轮槽(槽宽比绳径大 0.5mm)限制粉尘扩散。
滑轮与导轨密封
滑轮组安装防尘挡圈(材质为 UHMWPE),挡圈与滑轮间隙≤0.1mm,防止粉尘进入轴承;导轨顶面覆盖PVC 防尘帘(厚度 0.3mm),天车运行时帘布随动贴合,阻隔地面扬尘。
二、防尘结构细节优化
1. 表面流线型设计
无死角结构
主梁与端梁连接处采用圆弧过渡焊接(转角半径≥10mm),焊缝经电解抛光处理(粗糙度 Ra≤0.2μm),避免直角积尘;外露螺栓全部采用沉头式设计,螺栓孔填充密封胶(如 Dow Corning 737)。
天车护栏采用嵌入式安装,护栏与主梁表面齐平,消除缝隙,例如某医药车间天车的护栏立柱与主梁通过卡槽连接,缝隙≤0.5mm。
导流板气流控制
天车顶部安装铝合金导流板(倾斜角度 30°),配合车间垂直层流系统(风速 0.3~0.5m/s),使气流沿天车表面形成层流,避免顶部积尘。实测数据显示,安装导流板后,天车顶部粉尘沉积量减少 80% 以上。
2. 易清洁结构设计
快拆式防尘组件
天车底部设置模块化粘尘板(尺寸 600mm×1200mm),通过磁吸式卡扣固定,更换时无需工具,单次更换时间≤5 分钟;粘尘板表面涂覆硅胶粘尘层(粘性保持时间≥30 天),粉尘吸附量≥10g/m²。
电气柜门板采用铰链式快拆设计,门板内侧贴附防尘网(孔径 0.5μm),维护时可整体拆卸清洁,清洁周期为每月 1 次。
三、特殊密封技术应用
1. 正压防尘系统
在天车主梁内部设置正压送风模块,通过 HEPA 过滤器(过滤效率≥99.99%@0.3μm)向内部输送洁净空气,维持主梁内气压比外界高 5~10Pa,防止外部粉尘渗入。例如,某 10 英寸晶圆厂天车的正压系统风量为 150m³/h,每小时换气次数≥20 次。
2. 真空吸附防尘
针对精密吊装场景(如晶圆搬运),天车吊具下方安装环形真空吸嘴,吸嘴边缘设置硅胶密封唇(硬度 Shore A 50±5),接触工件时形成负压密封(真空度≥-80kPa),防止搬运过程中微尘脱落。某半导体设备数据显示,该设计可使工件表面颗粒污染率降低 95%。
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